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一、“十一五”產業發展回顧
（一）產業規模持續穩定增長
我國電子專用設備儀器產業在“十一五”期間保持了較高的增速，雖然期間受全球金融危機影響，2008年下半年至2009年上半年呈現出下滑態勢，但在國內多項政策激勵下，隨著世界經濟逐步回暖，電子專用設備儀器業企穩回升，實現了生產、銷售和經濟效益總體平穩增長的態勢。
據統計，“十一五”期間我國電子專用設備銷售收入年均增長率為20%，從2005年的783億元增長到超過1987億元，電子專用設備工業協會統計的行業骨干企業年均增長率為25%，從52.7億元增長到160.6億元。統計數據表明，“十一五”期間我國電子儀器規模以上企業年均增長19％，到“十一五”末實現銷售收入940億元。五年間，電子專用設備儀器產品中太陽能光伏設備以及元器件參數測量儀器、超低頻測量儀器等保持了較大幅度的增長。
（二）重點產業領域取得較大成績
“十一五”期間，國家科技重大專項圍繞光刻機、刻蝕機、65納米制造工藝、先進封裝設備等重點任務，集中資源重點投入，取得很大進展。北方微電子及上海中微公司2種12英寸65納米刻蝕機產品樣機已進入大生產線進行考核驗證；上海微電子公司封裝光刻機已進入長電科技考核測試；七星華創12英寸氧化爐已進入大線測試；中科信12英寸離子注入機已完成3臺樣機組裝，正在進行測試。多種12英寸關鍵設備陸續進入大生產線考核驗證，標志著我國集成電路設備產業已初步形成產業化發展態勢。
“十一五”期間新興產業的發展，為電子專用設備產業帶來了良好的發展契機。尤其是我國晶硅太陽能電池設備年均增長率達到58%，基本具備了從晶體硅到太陽能電池片的成套生產線設備供應能力，為我國光伏產業的發展提供了有力保障。晶硅太陽能設備爆發式增長，為電子專用設備產業實現“十一五”規劃目標提供了有力支撐。
（三）電子儀器產業結構調整初見成效
電子儀器產業根據市場應用需求的變化，不斷調整結構，產品種類日益豐富。針對多功能、多參數的復合測試需求，測試設備從單臺儀器向大型測試系統形式邁進；電子測量儀器向模塊化和合成儀器方向發展；野外工程應用需求不斷促進測試儀器向便攜式和手持式升級；新型的實時頻譜分析儀開始推向市場；3G、數字電視等民用領域專業測試儀器新品不斷涌現。
（四）產業自主創新能力不斷提升
“十一五”以來，電子專用設備儀器行業內主要企業通過引進國內外的高科技人才，加強與高校、科研單位的合作，在關鍵設備和開發中規避已有的國外專利，開發出一批技術含量高、性能穩定、具有自主知識產權的產品，初步建立起了以企業為主體的技術創新體系。
在國家“863”計劃、國家科技重大專項的支持下，一批具有自主知識產權的集成電路設備進入了大生產線。我國的無鉛焊接設備達到了國際先進水平，成為我國表面貼裝設備市場中最具競爭力的產品。電子儀器行業的本土企業逐步進入自主研發階段，初步掌握核心和高端儀器技術，能夠為國家重大工程提供大部分配套電子儀器。在部分特種電子儀器產品方面打破了國外禁運和技術封鎖，為重點裝備的技術保障和研制建設提供了有力支撐。
（五）產業鏈整合進程日益加速
在國家科技重大專項引導下，以龍頭企業為核心的產業鏈整合進程持續加速。北方微電子、上海中微、七星華創等整機企業與北京科儀、沈陽科儀、沈陽新松等零部件企業圍繞刻蝕機、注入機、氧化爐等高端芯片制造裝備與關鍵部件進行聯合攻關；江蘇長電、南通富士通等國內封裝龍頭企業聯合26家企業開展成套封裝設備與配套材料的系統應用工程。按照上下游配套的“項目群”方式，系統部署實施重大專項，有力促進集成電路產業鏈的建立、產業規模的增長和綜合配套能力的形成。
（六）產業扶持政策逐步完善
《國務院關于加快振興裝備制造業的若干意見》將集成電路關鍵設備、新型平板顯示器件生產設備、電子元器件生產設備、無鉛工藝的整機裝聯設備列入了國家重大技術裝備中，加大政策支持和引導力度，鼓勵本土重大技術裝備訂購和使用，為產業發展創造了有利的市場環境?！皹O大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項的實施，有力帶動了我國電子專用設備儀器技術提升。
“十一五”期間我國電子專用設備儀器行業取得較大成績，但仍存在突出問題：產業規模偏小，本土企業實力不強；自主創新能力有待提高，高端設備開發相對落后；部分產品性價比雖高，但可靠性較差，市場占有率低；設備開發與產品制造工藝脫離，影響了技術成果產業化的進程；高水平、復合型人才缺乏。
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