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五、政策措施
（一）加強戰略引導，完善產業政策
充分利用優惠政策，降低企業在技術進步中的風險，合理地運用優惠政策促進科研成果產業化。制定并完善《重大技術裝備和產品進口關鍵零部件、原材料商品清單》，進一步加強對電子專用設備關鍵零部件稅收優惠政策的支持力度。
加快出臺《關于印發<</span>進一步鼓勵軟件產業和集成電路產業發展若干政策>的通知》（國發[2011]4號）的實施細則，對符合條件的集成電路專用儀器以及集成電路專用設備相關企業給予企業所得稅優惠，支持行業發展。
（二）加大投入力度，支持技術創新
充分發揮國家科技重大專項、電子信息產業發展基金等引導作用，以多種形式支持電子專用設備儀器行業技術創新，重點支持戰略意義大、技術難度高、市場前景廣、帶動作用強、發展基礎好的關鍵電子專用設備儀器發展。
推動落實《首臺(套)重大技術裝備試驗示范項目管理辦法》，鼓勵支持集成電路關鍵設備、新型平板顯示器生產設備、電子元器件生產設備、無鉛工藝的整機裝聯設備自主創新，為首臺（套）重大電子專用設備應用創造良好條件。
（三）提升產品可靠性，加強服務能力建設
抓好零部件配套和維修服務工作，推行平均失效間隔（MTBF）、平均恢復時間（MTTR）等可靠性指標，采用可靠性設計、元器件篩選等行之有效的辦法，提高零部件產品可靠性，拓展維修、備件供應等服務范圍，提高專用設備儀器的服務水平。
（四）引導專項成果輻射，推動技術應用擴展
在支持企業承擔重大專項的企業攻克技術難關、強化核心競爭力的同時，積極引導將掌握的技術向相關領域進行應用擴展，重點推動半導體專用設備技術和產品在太陽能電池、LED、平板顯示等領域的應用。
（五）重視人才戰略，集聚高端人才
推動在高等院校和科研院所加強電子專用設備儀器相關學科建設與專業技術人才的培養，建設高校、企業聯動的人才培養機制。以國家科技重大專項為平臺，加快人才引進，進一步提升高端復合型人才的積累。
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